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纳米分辨全反射差分微位移测量的方法和装置(发布日期:2020-06-03)
纳米分辨全反射差分微位移测量的方法和装置
成果编号 CG2668
项目名称 纳米分辨全反射差分微位移测量的方法和装置 公司名称 ******
注册时间 2016-07-06 注册资本 ¥0.00万元
注册地址
主营业务
管理团队

项目主要情况描述
技术原理简介 本发明公开了一种纳米分辨全反射差分微位移测量的方法和装置,装置包括激光器、单模光纤、准直透镜、偏振分光器、λ/4波片、显微物镜、被测靶镜、斜方棱镜、凸透镜、差分探测器、驱动与显示单元,方法包括:将激光滤波、准直、偏振分光后,依次透过快轴与垂直入射的光束偏振方向的夹角为45°的λ/4波片和显微物镜到达被测靶镜后被反射,并逆向返回后经过显微物镜和λ/4波片,再次垂直入射到偏振分光器,再进入斜方棱镜并在其内部发生全反射后出射,汇聚后入射到差分探测器进行处理,得到反映被测靶镜位置变化的信号,并显示被测靶镜的位置变化。本发明可进行纳米分辨率的检测,广泛应用于工业精密测量与监测领域中。
关键技术线路
是否获得国家及省市科技经费资助
资助名称 资助金额 ¥0.00万元
行业历史与前景
市场规模及增长趋势
目标市场
行业竞争对手及本公司竞争优势
业务模式
策略操作性和有效性

项目融资说明
项目计划投资总额 ¥0.00万元 新增投资额 万元
资金来源 合作方式
固定资产投资额 ¥0.00万元
流动资产投资额 ¥0.00万元
资金使用方向细目

预计收益
项目建设期

联系方式
联系人 钟悦 电话 0813-8577222
联系地址 自贡高新区南岸科技新区孵化园1号楼 传真 0813-8577200
E_mail [email protected]
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